NEDOとサクラクレパス、プラズマ強度を瞬時に判断できるプラズマインジケータを開発
2015年06月19日

　NEDOのプロジェクトにおいて、（株）サクラクレパスは、プラズマにより変色する材料を用い、変色度合いの違いによりプラズマの不均一要因を視覚的に瞬時に判断できるプラズマインジケータ「PLAZMARK(R)」（耐熱性ラベル型）を開発。６月１日から販売を開始した。

「PLAZMARK(R)」は、従来、有機材料で構成されていた変色色材を、新たに開発した無機材料に替え、基材にポリイミドを採用、高い耐熱性（２００℃）と放出ガスの低減を実現した。

これにより、高温での加工と清浄性が求められる半導体製造プロセスにおいて、量産ラインの装置稼働率の向上、装置間の機差解消に貢献することができ、今後、半導体、LED、その他電子デバイス分野の製造装置市場のほか、自動車、医療機器等、他分野の製造装置市場での採用を目指す。